Yon ponp vakyòm ki itilize yon sifas ki ba tanperati pou kondanse gaz, ke yo rele tou yon ponp kondansasyon. Cryopump a se ponp vakyòm ki gen pi ba presyon ultim ak pi gwo pousantaj ponpe pou jwenn yon vakyòm pwòp. Li se lajman ki itilize nan rechèch la ak pwodiksyon nan semi-conducteurs ak sikui entegre, osi byen ke rechèch molekilè gwo bout bwa, ekipman kouch vakyòm, enstriman analiz sifas vakyòm, implanters ion ak simulation espas. aparèy, elatriye.
Prensip ponpe kriyoponp la ekipe ak yon plak frèt ki refwadi nan yon tanperati ki ba anpil pa elyòm likid oswa yon frijidè. Li kondanse gaz la epi kenbe presyon vapè kondansasyon an anba presyon ultim ponp lan, konsa pou reyalize efè ponpe. Fonksyon prensipal yo nan ponpe tanperati ki ba yo se kondansasyon tanperati ki ba, adsorption tanperati ki ba ak kaptire tanperati ki ba. ① Kondansasyon tanperati ki ba: molekil gaz kondanse sou sifas plak frèt la oswa sou kouch gaz kondanse a, ak presyon ekilib la se fondamantalman egal a presyon vapè kondansasyon an. Lè ponpe lè a, tanperati plak frèt la dwe pi ba pase 25K; lè ponpe idwojèn, tanperati plak frèt la pi ba. Epesè kondansasyon ba-tanperati a ak kouch kondansasyon ekstraksyon ka rive nan apeprè 10 mm. ②Absorption tanperati ki ba: Molekil gaz yo adsorbe sou sifas adsorban an kouvwi sou plak frèt la ak yon epesè monokouch (10-8 cm). Presyon ekilib pou adsorption pi ba anpil pase presyon vapè nan menm tanperati a. Si presyon vapè idwojèn egal a presyon atmosferik nan 20K, presyon ekilib adsorption la pi ba pase 10-8 Pa lè kabòn aktive ak 20K absòbe idwojèn. Sa fè li posib pou fè ponpe pa adsorption kriyojenik nan pi wo tanperati. ③Pyèj kriyojenik: Molekil gaz ki pa ka kondanse nan tanperati ekstraksyon an antere ak adsorbe pa kouch gaz kondansab k ap grandi.
Anjeneral pale, presyon an ultim nan ponp lan se presyon an vapè nan gaz la kondanse nan tanperati a nan plak la frèt. Lè tanperati a se 120K, presyon vapè dlo a deja pi ba pase 10-8 Pa. Lè tanperati a se 20K, eksepte pou elyòm, lumineuz ak idwojèn, presyon vapè lòt gaz pi ba tou pase {{3} } Pa. Sepandan, akòz tanperati diferan nan veso ponp lan ak plak frèt kriyojenik la, presyon ultim ponp lan pi wo pase presyon vapè kondansasyon an. Pou yon veso nan tanperati chanm, ak yon cryopanel 20K, presyon ultim ponp lan se apeprè 4 fwa presyon vapè kondansasyon an.