Yon cryopump se yon ponp vakyòm ki itilize yon sifas tanperati ki ba pou kondanse gaz, ke yo rele tou yon ponp kondanse. Cryopump la ka jwenn yon vakyòm pwòp ak pousantaj ki pi wo a ponpe ak presyon ki pi ba ultim, epi li se lajman ki itilize nan rechèch la ak pwodiksyon nan semi-kondiktè ak sikwi entegre, osi byen ke rechèch gwo bout bwa molekilè, ekipman kouch vakyòm, enstriman analiz vakyòm, enstriman ion ak aparèy simulation espas, elatriye aspè.
prensip ponp
Anndan cryopumpum a se yon plak frèt refwadi nan yon tanperati ki ba anpil pa elimine likid oswa yon frijidè. Li kondanse gaz la epi kenbe presyon an vapè nan kondansateur a anba presyon final la nan ponp lan, se konsa tankou reyalize efè a ponp. Fonksyon prensipal yo nan ponp tanperati ki ba yo se kondansasyon tanperati ki ba, adsorpsyon tanperati ki ba ak kaptire tanperati ki ba.
(1) Kondansasyon tanperati ki ba: molekil gaz kondanse sou sifas la nan plak la frèt oswa sou kouch nan gaz kondanse, ak presyon an ekilibre fondamantalman egal a presyon vapè nan kondansateur la. Lè ponpe lè, tanperati a nan plak la frèt dwe pi ba pase 25K; lè ponpe idwojèn, tanperati a nan plak la frèt se pi ba. Epesè a nan kondansasyon an ki ba-tanperati ak kouch kondansasyon ekstraksyon ka rive jwenn sou 10 mm.
(2)Ba adsorpsyon tanperati: molécules gaz yo adsorbe sou sifas la nan adsoraban an ki te kouvwi sou plak la frèt ak yon epesè nan yon kouch monomokilè (nan lòd la nan santimèt). Presyon ekilibre pou adsòpsyon se pi ba anpil pase presyon an vapè nan menm tanperati a.
Si presyon vapè a nan idwojèn egal a presyon atmosferik nan 20K, presyon an ekilibre nan adsòpsyon se pi ba pase Pa lè absòbe idwojèn ak 20K aktive kabòn. Sa fè li posib fè ponpe pa adsòpsyon kritik nan tanperati ki pi wo.
(3)kriptografik pyèj: molécules gaz ki pa ka kondanse nan tanperati a ekstraksyon yo antere ak adsorbe pa kouch nan ap grandi nan gaz condensable.
Anjeneral pale, presyon final la nan ponp lan se presyon an vapè nan gaz la kondanse nan tanperati a nan plak la frèt. Lè tanperati a se 120K, presyon an vapè nan dlo deja pi ba pase Pa. Nan yon tanperati ki gen 20K, eksepte pou elimine, neon ak idwojèn, presyon vapè lòt gaz yo tou pi ba pase Pa.
Sepandan, akòz tanperati yo diferan nan veso a ponpe ak plak la frèt kritik, presyon an final nan ponp lan se pi wo pase presyon an vapè nan kondansateur la.
Pou yon veso nan tanperati chanm, ak yon kripèl nan 20K, presyon an final nan ponp lan se sou 4 fwa presyon an vapè nan kondansateur la.