Cryopumps yo fèt dapre prensip kondansasyon gaz, adsorption kriyojenik, pyèj kriyojenik oswa aspirasyon pou jwenn vakyòm.
1. Dapre presyon k ap travay nan ponp lan, li ka divize an cryopump pou ranje koule kontinyèl, cryopump pou ranje koule molekilè, anjeneral ponp kondansasyon plis yon etap adsorption oswa yon etap kaptire kriyojenik.
2. Dapre metòd refwadisman an, li ka divize an cryopump tank depo, cryopump evaporatif ak cryopump refrijerasyon. Pami yo, cryopump tank depo a ak cryopump evaporatif tou de itilize likid febrifuj pou refrijerasyon, sifas refwadisman plak pwotèj yo souvan itilize nitwojèn likid, ak sifas kriyojenik se souvan itilize elyòm likid oswa elyòm gaz pou refrijerasyon. Akòz enflamabilite, eksplozif ak pri segondè nan idwojèn likid, li toujou raman itilize malgre pi wo enthalpy evaporasyon li yo pase elyòm likid.
Frijidè kriyoponp refrijerasyon yo souvan itilize pa Gifford. Kalite McMahon (ki refere kòm frijidè GM) ak kalite Stirling (ki refere kòm frijidè St). Pou cryopumps refrijerasyon ak gwo vitès ponpe, yo ka itilize yon frijidè tanperati-klas elyòm likid, epi yo ka mete yon valv JT pou fòme yon aparèy refrijerasyon sikilasyon likid, epi pafwa nitwojèn likid nan yon tank depo likid oswa machin liquéfaction nitwojèn yo itilize pou fre sifas deflektè a ak plak pwotèj.
Pèfòmans prensipal la nan cryopump
①Pi wo pase vitès ponp lan, pi bon pase tout lòt kalite ponp.
②Pa gen okenn restriksyon sou fòm nan, li ka benyen nan chanm nan vakyòm oswa fiks sou miray la nan chanm lan vakyòm ak yon bride.
③Li ka bay yon vakyòm konplètman pwòp san polisyon nan sistèm vakyòm lan.
④Vacuum degre nan presyon ki ba anpil ka jwenn, tankou anba a 10-12Pa. Anplis, operasyon an nan cryopump a se serye, epi lè vitès la ponpe se relativman gwo, pri a opere nan envestisman li yo pi ba pase sa yo ki nan ponp lan vakyòm tradisyonèl yo, epi li se fasil reyalize automatisation.